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半导体工业废水、废气中砷、磷、硫、氟、氯及氮氧化物和重金属的综合治理

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本文介绍了在半导体工业废水、废气中砷、磷、硫、氟、氯及氮氧化物、重金属及各种酸的综合治理方法、工艺流程和设备,用中和絮凝沉降一体化装置,利用共生沉淀的原理处理废水.用椭圆型喷淋吸收塔,氧化剂、碱吸收治理半导体工业废气中砷、磷、硫、氟、氯、氮氧化物及各种酸.经环保部门检测均达到国家排放标准.

著录项

来源
《电子学报》 |2000年第11期|1-38|共4页
作者
闻瑞梅;
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作者单位

同济大学,上海,200092;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TN304.05;
关键词
半导体; 废水; 废气; 治理;

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