微空气桥隔离的自对准AlGaAs/GaAs异质结双极晶体管

严北平; 张鹤鸣; 戴显英

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利用微空气桥隔离和自对准技术成功地研制出了自对准结构的AlGaAs/GaAs异质结双极晶体管.器件展现出良好的直流和高频特性.对于发射极面积为2μm×15μm的器件,直流电流增益大于10,失调电压(Offsetvoltage)200mV;电流增益截止频率fT大于30GHz,最高振荡频率fmax约为50GHz.

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来源
《电子学报》 |2000年第11期|132-133136|共3页
作者
严北平; 张鹤鸣; 戴显英;
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作者单位

西安电子科技大学微电子学研究所,西安,710071;

西安电子科技大学微电子学研究所,西安,710071;

西安电子科技大学微电子学研究所,西安,710071;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类化合物晶体管、砷化镓晶体管;双极性晶体管;
关键词
AlGaAs/GaAs异质结双极晶体管; 自对准结构; 微空气桥隔离腚;

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