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真空微电子学的研究与发展

         

摘要

本文系统介绍了近年来真空微电子不的研究内容,达到的水平和亟待解决的问题,包括真空微电子器件的基本结构,场发射列,微尖结构物理,新材料和新器的探索以及真空微电子学的主要应用。

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