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新结构的硅一体化微加速度传感器

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本文介绍了一种新结构的硅一体化微加速度传感器，理论和实验结果表明，这种传感器与传统硅微机械结构加速度传感器相经具有温度特性好，工艺简单和成品率高等优点，这种结构特别适合制作谐振传感器。

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来源
《电子学报》 |1994年第8期|36|共1页
作者
王跃林; 徐义刚; 陈锋; 胡鑫松;
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作者单位

不详;

不详;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TP212;
关键词
硅; 微机械结构; 加速度; 传感器;

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