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GaAs 薄膜电沉积的机理与工艺研究

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报道了电共沉积制备ＧａＡｓ簿膜的原理与工艺。通过优化工艺参数，在不同的基片上成功地得到了成分接近化学计量比的ＧａＡｓ薄膜。

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来源
《太阳能学报》 |1997年第4期|376-379|共4页
作者
韩爱珍; 林逸青; 赵永春; 高元恺;
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作者单位

哈尔滨工业大学;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TN304.23;
关键词
薄膜; 电沉积; 机理; 工艺; 砷化镓;

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