基于电荷泵的压电致动器迟滞非线性改善研究

张连生; 张鹏程; 郝爽; 黄强先; 程荣俊; 李红莉

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基于电荷泵的压电致动器迟滞非线性改善研究

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压电致动器在精密定位、微纳米测量等领域得到了广泛的应用，然而迟滞和非线性现象严重影响了其定位精度和性能。虽然电荷驱动的方法可以降低大部分迟滞，但仍存在较为明显的残余迟滞，尤其是电压工作范围较大时，压电致动器的迟滞呈现增大的趋势。基于残余迟滞的分析和计算，提出了一种用于电荷泵驱动的残余迟滞改进方法，研究了校正参数的推导方法，改善了经典电荷泵驱动的迟滞非线性。通过实验发现，在驱动电压范围为0～100 V、驱动频率为0.1～2 Hz时，相比经典电荷泵驱动的2.79%迟滞，改进后的电荷泵驱动方法可以将迟滞进一步降低至0.47%以下，比经典的电荷泵驱动方法降低了83%左右。所提方法在精密测量等领域具有较好的应用价值。

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来源
《计量学报》 |2023年第11期|1646-1651|共6页
作者
张连生; 张鹏程; 郝爽; 黄强先; 程荣俊; 李红莉;
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作者单位

1. 合肥工业大学仪器科学与光电工程学院 2. 合肥工业大学测试理论与精密仪器安徽省重点实验室;

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正文语种 chi
中图分类其他专用机械与设备;
关键词
计量学; 压电致动器; 迟滞效应; 非线性; 电荷泵驱动;

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