相干扫描显微镜测量噪声和残余平面度校准方法的研究

沈飞; 施玉书; 陈思文; 王兴旺; 李适; 李琪; 李伟; 高思田

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相干扫描显微镜测量噪声和残余平面度校准方法的研究

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介绍了相干扫描显微镜的测量原理.提出了使用经校准的碳化硅超光滑圆盘作为标准平面,校准相干扫描显微镜的测量噪声和残余平面度特性.其中测量噪声通过先重复测量标准平面同一位置的表面形貌图,再使用相减法处理得到;残余平面度通过先多次重复测量标准平面不同位置的表面形貌图,再使用阈值法处理得到.最后基于此方法对中国计量科学研究院的相干扫描显微镜进行了校准实验,结果表明:使用1次相减法即可校准测量噪声,残余平面度可通过在标准平面上不同位置处做10次以上重复测量并求其平均形貌来校准.

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来源
《计量学报》 |2014年第z1期|126-129|共4页
作者
沈飞; 施玉书; 陈思文; 王兴旺; 李适; 李琪; 李伟; 高思田;
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作者单位

中国计量科学研究院;

中国计量科学研究院;

天津大学;

北京化工大学;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类长度计量;
关键词
计量学; 相干扫描显微镜; 测量噪声; 残余平面度;

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