无限变焦3D形貌仪在几何量微纳米检测中的应用

著录项

• 来源
  《计量学报》 |2012年第z1期|36-40|共5页
• 作者

  郭继平; 于冀平; 彭翔; 方南家; 王强兵; 陈照聚;

  展开▼
• 作者单位

  深圳市计量质量检测研究院,广东深圳,518055;

  深圳大学光电工程学院,教育部光电子器件与系统重点实验室,广东深圳,518060;

  深圳市计量质量检测研究院,广东深圳,518055;

  深圳大学光电工程学院,教育部光电子器件与系统重点实验室,广东深圳,518060;

  深圳市计量质量检测研究院,广东深圳,518055;

  深圳市计量质量检测研究院,广东深圳,518055;

  深圳市计量质量检测研究院,广东深圳,518055;

  展开▼
• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 几何量计量;
• 关键词

  计量学; 几何量检测; 3D形貌测量; 变焦技术; 微纳米检测;