首页> 中文期刊> 《计量学报》 >高精度激光平面干涉测量系统误差的研究分析方法

高精度激光平面干涉测量系统误差的研究分析方法

开具论文收录证明 >>

文献代查 >>

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

叙述了Fizeau激光平面干涉系统的测量原理.依据ISO发布的测量不确定度表示指南,对Fizeau型高精度移相激光平面干涉测量系统的误差进行了系统分析,给出了高精度激光平面干涉仪的各项误差及总误差,其合成标准不确定度为2.63nm.该研究分析方法可适用于同类仪器的测量不确定度评价.

著录项

来源
《计量学报》 |2010年第z2期|124-127|共4页
作者
张恒; 黄杨; 康岩辉;
展开▼
作者单位

中国计量科学研究院;

中国计量科学研究院;

中国计量科学研究院;

展开▼
原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类长度计量;
关键词
计量学; 激光平面干涉仪; 菲索; 误差分析;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 超精密机床激光干涉测量系统误差分析及补偿 [J] . 于宝成 ,王春梅 . 机械制造 . 2005,第010期
2. 超高精度金属平面的干涉测量 [J] . 魏延年 ,王仁善 . 杭州机械 . 1989,第003期
3. 基于振动抑制高精度宽带激光扫频干涉测量方法 [J] . 刘国栋 ,许新科 ,刘炳国 . 物理学报 . 2016,第020期
4. 大型构件尺寸微小变化的高精度激光干涉测量 [J] . 陈中 ,丁振良 ,袁峰 . 激光杂志 . 2000,第2期
5. 高精度激光干涉测量中环境误差因素的综合补偿 [J] . 李东光 ,张国雄 . 光电工程 . 1999,第004期
6. 高精度激光平面干涉测量系统误差的研究分析方法 [C] . 张恒 ,黄杨 ,康岩辉 . 2010年全国几何量精密测量技术学术交流会 . 2010
7. 高精度激光陀螺捷联惯导系统误差模型参数估计方法研究 [A] . 刘伟 . 2013

获取原文

客服邮箱：kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备：11010802029741号 ICP备案号：京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有

客服微信
服务号