精密测量系统气浮工作台瞬态控制方法

卢明臻; 高思田; 施玉书; 杜华; 崔建军

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气浮工作台是精密仪器中常用的位移机构.为了消除气体微振动对精密测量的影响,提出了气浮工作台区分两种工作模式:运动模式和测量模式.在掌握气体止推轴承上气和排气的瞬态过程规律的基础上,提出了一种模式切换过程中气浮工作台的瞬态控制方法,实现其运动模式和测量模式的平稳过渡.气浮工作台在上气过程中的偏移不大于250 nm,排气过程中的偏移不大于200 nm,且经历时间在0.3 S左右.该方法的提出提高了气浮工作台的性能,使之成为测量系统中优良的大范围位移系统.

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来源
《计量学报》 |2008年第z1期|11-14|共4页
作者
卢明臻; 高思田; 施玉书; 杜华; 崔建军;
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作者单位

中国计量科学研究院;

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正文语种 chi
中图分类几何量计量;
关键词
计量学; 精密测量; 气体轴承; 微振动; 瞬态; 控制;

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