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干涉条纹小数的测量

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摘要

对高精度干涉条纹小数测量的方法进行了系统的介绍。就干涉条纹小数的定义、暗条纹中心的确定、量块中心长度测量的起始和终了位置进行了较全面的分析，实现了不确定度为2nm的干涉条纹小数的测量。引用实验与国际比对结果理论分析予以验证。

著录项

来源
《计量学报》 |2008年第B09期|P.27-30|共4页
作者
黄晓荣; 余晓曦; 李小林;
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作者单位

中国测试技术研究院,四川成都610021;

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原文格式 PDF
正文语种 CHI
中图分类长度计量;
关键词
计量学; 一等量块; 干涉条纹小数; 暗条纹中心; 测量定位;

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