基于伺服自动聚焦的精密激光位移传感器研究

解旭辉; 王芸; 李婷

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研究开发了一种低成本、高精度的非接触式激光微位移传感器.该传感器采用光驱内激光头作为探测元件,利用其自动聚焦原理开发了S曲线法,同时提出了一种新的测量方法--自动搜寻法,将这两种方法相结合,用来测量复杂物体表面的面形,既可进行大量程的测量,也可进行较小量程内高分辨率的测量.大量程(1.8mm)内分辨率为2μm,在较小量程(200μm)内可达0.2 μm.

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来源
《计量学报》 |2006年第3期|212-215|共4页
作者
解旭辉; 王芸; 李婷;
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作者单位

国防科技大学,机电工程与自动化学院机电工程系,湖南,长沙,410073;

国防科技大学,机电工程与自动化学院机电工程系,湖南,长沙,410073;

国防科技大学,机电工程与自动化学院机电工程系,湖南,长沙,410073;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类长度计量;
关键词
计量学; 微位移传感器; 光驱激光头; 自动聚焦探测; 自动搜寻法; S曲线法;

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