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基于时域傅里叶变换的波长移相算法

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基于傅里叶变换的波长移相算法,是基于时域傅里叶变换和差分技术来实现干涉图处理.这种算法主要用于实现较粗糙轮廓或台阶件的光学检测.介绍了该算法的中心思想,指出了已有的Takeda算法的缺点,提出了改进算法.叙述了新算法的实现过程并进行了误差分析,最后给出了实验结果.

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来源
《计量学报》 |2004年第4期|310-313|共4页
作者
于瀛洁; 张本好; 焦云芳;
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作者单位

上海大学精密机械工程系,上海,200072;

上海大学精密机械工程系,上海,200072;

上海大学精密机械工程系,上海,200072;

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正文语种 chi
中图分类光学计量;
关键词
计量学; 移相算法; 波长移相干涉技术; 离散傅里叶变换;

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