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超光滑表面三维微观轮廓检测的研究

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摘要

利用干涉共模抑制和光电信号共模抑制技术,辅以二维扫描平台及计算机控制与数据处理技术,可以高精度地无损测量超光滑表面三维微观轮廓.本文论述了上述测量系统的原理、结构和误差分析,并讨论了关于三维微观轮廓的定义问题.

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来源
《计量学报》 |2000年第3期|178-182|共5页
作者
王元庆;
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作者单位

安徽机电学院电气工程系,芜湖,241000;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类几何量计量;
关键词
三维轮廓; 共模抑制; 二维扫描;

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