用于大范围纳米测量的法布里－珀罗干涉仪

晁志霞; 许婕; 徐毅

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用于大范围纳米测量的法布里－珀罗干涉仪

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本文在中国计量科学研究院研制的差拍法－珀干涉仪基础上，分析了其测量范围过小的本质原因，提出扩大差拍法－珀干涉仪测量范围的方法———换模锁定法，将激光频率依次锁定于法－珀腔的各个干涉级次，从而突破了激光器调谐范围的限制，拓深了该系统实现大范围纳米测量的能力。实验结果表明，在目前的实验条件下，换模锁定法的采用使该干涉仪的测量范围从原来的０１８ μｍ左右扩大为１１ μｍ。本文对实验结果进行了误差分析。

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来源
《计量学报》 |1999年第4期|241|共1页
作者
晁志霞; 许婕; 徐毅;
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