白光干涉型Michelson光纤扫描干涉仪

李雪松; 李天初

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介绍了一种白光干涉型Ｍｉｃｈｅｌｓｏｎ位移传感器，Ｍｉｃｈｅｌｓｏｎ干涉仪的一臂由光纤Ｆ－Ｐ腔构成，作为传感头，另一臂由电磁位移器带动的反射镜构成，提供相位补偿。理论分析和实验结果表明，在１５０μｍ的动态范围内，该传感器的位移测量重复性达到０．５μｍ，测量不确定度为．５μｍ。本文还提供了进一步提高测量精度和响应速度的方法。

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来源
《计量学报》 |1996年第4期|241-245|共5页
作者
李雪松; 李天初;
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作者单位

清华大学电子工程系;

中国计量科学研究院;

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原文格式 PDF
正文语种 CHI
中图分类 TH744.3;
关键词
白光干涉; 干涉仪; 位移传感器; 光纤;

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