用微机控制的高分辨率三晶体X射线衍射仪究研GaInP外延层的超结构

Sutto.M; 梁家昌; 等

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用微机控制的高分辨率三晶体X射线衍射仪究研GaInP外延层的超结构

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本文介绍自制具有极高分辨率的微机控制的三晶体X射线衍射仪，利用这台仪器测量了用MOCVD方法生长的Ga0.52In0.48P外延层的超结构，我们发现，在Ga0.52In0.48P外延薄膜内由In平面和Ga平面交替组成的（111）平面中，存在着交替的In丰与Ga丰平面，这种In丰与Ga丰的附加浓度可达4-6%。

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来源
《计量学报》 |1992年第1期|59-63|共5页
作者
Sutto.M; 梁家昌; 等;
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作者单位

加拿大McGill大学物理系;

中国民航学院基础部;

天津;

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原文格式 PDF
正文语种 CHI
中图分类射线衍射分析;
关键词
微机; X射线; 衍射仪; GaInP; 合金;

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