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110 GHz可溯源的On-wafer GaAs基Multi-TRL校准标准件研制

         

摘要

设计制作了用于1~ 110 GHz On-wafer散射参数测试系统自校准的GaAs基Multi-TRL校准标准件.主要验证了Multi-TRL校准标准件设计的正确性;经过与国外计量标准及商用校准件比对,还验证了在频率范围1 GHz~ 110 GHz,用于Multi-TRL校准的校准标准件的准确性.

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