高线性度的二维无耦合纳米压电位移系统设计

著录项

• 来源
  《计量学报》 |2021年第8期|977-985|共9页
• 作者

  罗四维; 乐燕芬; 彭洋; 吴俊杰; 雷李华; 张波; 金涛;

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• 作者单位

  上海理工大学光电信息与计算机工程学院 上海200093;

  上海理工大学光电信息与计算机工程学院 上海200093;

  上海理工大学光电信息与计算机工程学院 上海200093;

  上海计量测试技术研究院 上海201203;

  上海计量测试技术研究院 上海201203;

  上海计量测试技术研究院 上海201203;

  上海理工大学光电信息与计算机工程学院 上海200093;

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• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 几何量计量;
• 关键词

  计量学; 纳米压电位移系统; 二维无耦合; 开环压电控制器; 柔性铰链; 有限元分析; 干涉测量;