首页> 中文期刊> 《计量学报》 >收发分体式四自由度激光测量系统耦合误差建模与补偿

收发分体式四自由度激光测量系统耦合误差建模与补偿

         

摘要

线性导轨广泛应用于精密机床和仪器,其运动精度直接影响所在设备的空间定位精度.针对团队前期研制的收发分体式四自由度激光测量系统可以测量导轨直线度、俯仰角和偏摆角,但其直线度与角度测量结果间存在耦合干扰问题,提出了一种误差建模与补偿方法.根据激光测量系统的原理和结构,分析并确定了耦合误差的主要来源,利用矩阵光学及齐次坐标变换的方法建立了耦合误差的补偿模型.以雷尼绍XL-80型激光干涉仪为基准,对所建立的误差补偿模型进行了实验验证,结果表明:利用所建模型补偿后的直线度和角度测量误差均降低了75%以上.所提出的误差建模与补偿方法不但有助于提高四自由度激光测量系统的精度,同时也有助于降低其成本.

著录项

  • 来源
    《计量学报》 |2021年第11期|1409-1417|共9页
  • 作者单位

    合肥工业大学仪器科学与光电工程学院 安徽合肥230009;

    合肥工业大学测量理论与精密仪器安徽省重点实验室 安徽合肥230009;

    合肥工业大学仪器科学与光电工程学院 安徽合肥230009;

    合肥工业大学测量理论与精密仪器安徽省重点实验室 安徽合肥230009;

    合肥工业大学仪器科学与光电工程学院 安徽合肥230009;

    合肥工业大学测量理论与精密仪器安徽省重点实验室 安徽合肥230009;

    合肥工业大学仪器科学与光电工程学院 安徽合肥230009;

    合肥工业大学测量理论与精密仪器安徽省重点实验室 安徽合肥230009;

    合肥工业大学仪器科学与光电工程学院 安徽合肥230009;

    合肥工业大学测量理论与精密仪器安徽省重点实验室 安徽合肥230009;

  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 chi
  • 中图分类 几何量计量;
  • 关键词

    计量学; 几何运动误差; 线性导轨; 激光测量系统; 四自由度; 耦合误差建模;

相似文献

  • 中文文献
  • 外文文献
  • 专利
获取原文

客服邮箱:kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备:11010802029741号 ICP备案号:京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有
  • 客服微信

  • 服务号