Al2O3衬底无催化剂生长GaN纳米线及其光学性能

梁琦; 王如志; 杨孟骐; 王长昊; 刘金伟

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cqvip:采用一种绿色的等离子增强化学气相沉积法,以Al2O3为衬底, Ga金属为镓源, N2为氮源,在不采用催化剂的情况下,成功制备获得了结晶质量良好的GaN纳米线.研究表明,生长温度可显著调控GaN纳米线的形貌,当反应温度为950℃时,生长出的GaN微米片为六边形;当反应温度为1000℃时,生长出了长度为10-20μm的超长GaN纳米线.随着反应时间增加, GaN纳米线的长度增加. GaN纳米线内部存在着压应力,应力大小为0.84 GPa.同时,也进一步讨论了GaN纳米线无催化剂生长机制. GaN纳米线光致发光结果显示, GaN纳米线缺陷较少,结晶质量良好,在360 nm处有一个较为尖锐的本征发光峰,可应用于紫外激光器等光电子器件.本研究结果将为新型光电器件低成本绿色制备提供一个可行的技术方案.

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来源
《物理学报》 |2020年第8期|294-299|共6页
作者
梁琦; 王如志; 杨孟骐; 王长昊; 刘金伟;
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作者单位

北京工业大学材料科学与工程学院新型功能材料教育部重点实验室北京 100124;

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正文语种 chi
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关键词
GaN纳米线; 等离子增强化学气相沉积; 无催化剂; 生长机理;

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