原位液相透射电子显微镜及其在纳米粒子表征方面的应用

著录项

• 来源
  《物理学报》 |2021年第8期|131-145|共15页
• 作者

  刘玄玄; 国洪轩; 徐涛; 尹奎波; 孙立涛;

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• 作者单位

  东南大学电子科学与工程学院 MEMS教育部重点实验室 南京 210096;

  东南大学FEI纳皮米中心 南京 210096;

  东南大学微电子学院 无锡 214000;

  东南大学电子科学与工程学院 MEMS教育部重点实验室 南京 210096;

  东南大学FEI纳皮米中心 南京 210096;

  东南大学微电子学院 无锡 214000;

  东南大学电子科学与工程学院 MEMS教育部重点实验室 南京 210096;

  东南大学FEI纳皮米中心 南京 210096;

  东南大学微电子学院 无锡 214000;

  东南大学电子科学与工程学院 MEMS教育部重点实验室 南京 210096;

  东南大学FEI纳皮米中心 南京 210096;

  东南大学微电子学院 无锡 214000;

  东南大学电子科学与工程学院 MEMS教育部重点实验室 南京 210096;

  东南大学FEI纳皮米中心 南京 210096;

  东南大学微电子学院 无锡 214000;

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• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类
• 关键词

  原位液相透射电子显微镜; 纳米表征技术; 原位液体腔;