重离子在碳化硅中的输运过程及能量损失

著录项

• 来源
  《物理学报》 |2021年第16期|72-81|共10页
• 作者

  张鸿; 郭红霞; 潘霄宇; 雷志峰; 张凤祁; 顾朝桥; 柳奕天; 琚安安; 欧阳晓平;

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• 作者单位

  湘潭大学材料科学与工程学院 湘潭 411105;

  湘潭大学材料科学与工程学院 湘潭 411105;

  西北核技术研究所 西安 710024;

  西北核技术研究所 西安 710024;

  工业和信息化部电子第五研究所 电子元器件可靠性物理及其应用技术国家重点实验室 广州 510610;

  西北核技术研究所 西安 710024;

  湘潭大学材料科学与工程学院 湘潭 411105;

  湘潭大学材料科学与工程学院 湘潭 411105;

  湘潭大学材料科学与工程学院 湘潭 411105;

  西北核技术研究所 西安 710024;

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• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类
• 关键词

  蒙特卡罗方法; 碳化硅; 重离子; 能量损失; 电场;