衬底层对Fe_(65)Co_(35)合金薄膜结构与磁性的影响

韩泽宇; 宋乘吉; 周杰; 郑富

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衬底层对Fe_(65)Co_(35)合金薄膜结构与磁性的影响

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采用磁控溅射法制备了具有不同衬底层(Cu,Co和Ni_(80)Fe_(20))的FeFe_(65)Co_(35)双层合金薄膜.研究了不同衬底材料以及NiFe衬底层厚度对FeCo合金薄膜结构与磁性的影响.研究结果表明:衬底层的引入可以增加薄膜的面内单轴各向异性,且薄膜的软磁性能显著提升,获得良好软磁性的原因归结为晶粒的细化、层间的偶极相互作用以及表面粗糙度的降低,并且对于相同厚度的不同衬底层,NiFe衬底层对FeCo薄膜软磁性能的提升最为明显;通过改变NiFe衬底层厚度,实现了对薄膜各向异性的调控,NiFe/FeCo表现出良好的高频响应和低的阻尼系数,同时较小的薄膜厚度能够减小涡流损耗,因此,促进了其在高频微波磁性器件方面的应用.

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来源
《物理学报》 |2022年第15期|239-247|共9页
作者
韩泽宇; 宋乘吉; 周杰; 郑富;
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作者单位

宁夏大学物理与电子电气工程学院;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类工程材料学;
关键词
FeCo合金薄膜; 衬底层; 软磁性能; 高频特性;

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