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多壁碳纳米管互连的单壁碳纳米管晶体管的频率特性

         

摘要

用多壁碳纳米管(MWCNTs)作为互连线制备出了单壁碳纳米管场效应晶体管(SWCNT FETs),对比研究了用多壁碳纳米管作为互连线和用金属作为互连线的两种情况.结果表明,二者的直流(DC)性能基本一致,而用多壁碳纳米管作为互连线的交流(AC)性能略优于用金属作为互连的情况.交流测量表明,至少在20 MHz的频率下,多壁碳纳米管互连的单壁碳纳米管晶体管仍有很好的响应速率,器件能够正常工作.

著录项

  • 来源
    《物理化学学报》 |2008年第11期|2122-2127|共6页
  • 作者单位

    北京大学电子学系,纳米器件物理与化学教育部重点实验室,北京,100871;

    北京大学电子学系,纳米器件物理与化学教育部重点实验室,北京,100871;

    北京大学电子学系,纳米器件物理与化学教育部重点实验室,北京,100871;

    北京大学电子学系,纳米器件物理与化学教育部重点实验室,北京,100871;

    北京大学电子学系,纳米器件物理与化学教育部重点实验室,北京,100871;

    北京大学电子学系,纳米器件物理与化学教育部重点实验室,北京,100871;

    北京大学电子学系,纳米器件物理与化学教育部重点实验室,北京,100871;

    北京大学电子学系,纳米器件物理与化学教育部重点实验室,北京,100871;

  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 chi
  • 中图分类 半导体化学;
  • 关键词

    多壁碳纳米管; 互连线; 单壁碳纳米管; 场效应晶体管;

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