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化学气相沉积法制备氧化锡自组装纳米结构

         

摘要

采用化学气相沉积法在镀有5-10 nm厚金膜的SiO2衬底上,通过控制生长条件,实现了二氧化锡纳米结构的自组装生长,成功制备出了莲花状和菊花状的二氧化锡自组装纳米结构.利用扫描电子显微镜、X射线衍射等表征分析手段对样品的表面形貌、结构及成份进行表征和研究.并在此基础上,讨论了两种自组装纳米结构的生长机制.

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