锑化镓的光助微刻蚀及其表面氧化物的研究

曹阳; 李爱珍

首页> 中文期刊> 《物理化学学报》 >锑化镓的光助微刻蚀及其表面氧化物的研究

锑化镓的光助微刻蚀及其表面氧化物的研究

开具论文收录证明 >>

期刊封面封底目录下载 >>

文献代查 >>

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

用电化学和光电化学方法研究锑化镓表面的腐蚀以及锑化镓表面氧化膜的生成和溶解，锑化镓电极在一定电势下生成的氧化膜，用俄歇能谱证明，其主要成分为难溶的氧化锑，此氧化膜的存在抑制了锑化镓的进一步腐蚀，同时亦使锑化镓的半导体光电化学性能大为减弱，通过激光微刻蚀及电子显微镜的观察，在刻蚀剂中添加酒石酸，柠檬酸和氢氟酸等试剂，可使刻蚀形得改善，实验研究了锑化镓的平带电势的测定。

著录项

来源
《物理化学学报》 |1996年第3期|224-228|共5页
作者
曹阳; 李爱珍;
展开▼
作者单位

不详;

不详;

展开▼
原文格式 PDF
正文语种 CHI
中图分类半导体表面化学;
关键词
半导体电化学; 光助微刻蚀; 锑化镓; 表面氧化膜;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 锑化镓的化学情况和刻蚀 [J] . 曹阳 ,李爱珍 . 上海半导体 . 1993,第004期
2. 锑化镓材料表面氧化的研究 [J] . 陈坚邦 ,王云春 . 稀有金属 . 1996,第3期
3. 锑化镓材料表面氧化机理的研究 [J] . 陈坚邦 ,王云春 . 稀有金属 . 1996,第4期
4. 利用Langmuir技术构筑的光抗蚀剂聚合物纳米薄膜的表面微观结构及在光刻蚀方面的应用(Ⅰ): 气液界面上聚合物单分子膜表面行为的研究 [J] . 许文俭 ,李铁生 ,任方方 . 中州大学学报 . 2009,第002期
5. 氮化镓光辅助湿法刻蚀后的位错密度估算 [J] . 赵智彪 ,李伟 ,祝向荣 . 固体电子学研究与进展 . 2002,第2期
6. 飞秒激光脉冲在石英玻璃前后表面的所产生的光破坏及微刻蚀 [C] . 吴朝新 ,蒋红兵 ,孙权 . 2002年全国场强激光物理会议 . 2002
7. 锌在锑化镓中扩散机理和锑化镓薄膜电池的理论研究 [A] . 倪青 . 2017

锑化镓的光助微刻蚀及其表面氧化物的研究

摘要

著录项

相似文献

相关主题

期刊订阅