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“十字丝”标记组件的设计和装调

         

摘要

本文介绍了用于DJ-2型可变矩形电子束曝光机中的“十字丝”标记组件的作用和工作原理,对该组件的结构设计精度要求及为达到这一要求而采取的技术措施。

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