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化学气相沉积金刚石膜工具研究进展及产业化趋势

         

摘要

20多年来,CVD金刚石厚膜焊接工具和薄膜涂层工具的研究都已取得了十分显著的进展,关键性的技术问题已经基本解决,相关产品已经得到实际应用,近年来在国内外均已出现CVD金刚石工具产业,并已经形成了一定的市场规模。

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