MOCVI法制备SiO2/SiO2复合材料

郑勇; 张立同; 陈照峰; 成来飞; 徐永东

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MOCVI法制备SiO2/SiO2复合材料

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依据金属基化学气相渗透法(Metal Organic Chemical Vapor Infiltration,MOCVI)工艺理论基础,采用MOCVI法制备出SiO2/SiO2复合材料,并分析了载气流量、先驱体JH20温度和沉积温度对氧化硅基体渗透速率和SiO2/SiO2(石英玻璃)复合材料显微结构的影响.结果表明,优化条件为:JH20的温度为60℃,载气流量为500mL/min,氧气流量为15mL/min,沉积温度为600℃.

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来源
《航空制造技术》 |2007年第1期|92-95,99|共5页
作者
郑勇; 张立同; 陈照峰; 成来飞; 徐永东;
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作者单位

西北工业大学超高温结构复合材料国防科技重点实验室;

西北工业大学超高温结构复合材料国防科技重点实验室;

西北工业大学超高温结构复合材料国防科技重点实验室;

西北工业大学超高温结构复合材料国防科技重点实验室;

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正文语种 chi
中图分类航空;
关键词
复合材料; 石英玻璃; MOCVI; 制备条件;

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