气浮支承式触针测量系统径向动态性能研究

吴运权; 常素萍; 吴昊

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气浮支承式触针测量系统径向动态性能研究

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触针表面形貌测量仪是生产科研中应用广泛的仪器,杠杆式触针由于其结构原因,在测量时会产生非线性误差,影响测量结果的精度.介绍了一种气浮触针式测量传感器,触针轴运动方向与位移测量方向一致,有效地避免了非线性误差;在研究中建立了气浮支承式触针测量系统的运动模型,分析了测量系统的动静态特性,研究了影响气浮支承径向动态性能的因素,进行了径向刚度和动态参数的理论仿真模拟,并通过动态特性试验测试和分析得到传感器最大扫描频率为125Hz;搭建了气浮触针式表面形貌测量系统并进行测量试验,得到传感器测量的相对误差为0.8％.

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来源
《航空制造技术》 |2021年第6期|48-5462|共8页
作者
吴运权; 常素萍; 吴昊;
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作者单位

华中科技大学机械科学与工程学院武汉 430074;

华中科技大学机械科学与工程学院武汉 430074;

华中科技大学机械科学与工程学院武汉 430074;

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正文语种 chi
中图分类
关键词
表面形貌测量; 触针位移传感器; 气浮支承; 径向动态性能; 模态识别;

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