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10cm×10cm Bulk Micromegas探测器的研制

         

摘要

Micromegas探测器是一种新型微结构气体探测器,于1996年由Giomataris等首先研制出来,它是目前最先进的气体探测器之一。该探测器具有优异的位置分辨、稳定的性能和很好的耐辐照性能等特点,能够在很高的计数率条件下工作,尤其适合用于高亮度环境,近年来在国际上得到迅速发展。使用光蚀刻技术制作的Micromegas探测器被称为Bulk Micromegas,制作流程主要为以下几步:拉伸丝网、覆感光膜、曝光、蚀刻、清洗和测试。

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