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周建民;
微机电系统; MEMS; 麦克风; 共振腔;
机译:“ MEMS技术改变了麦克风”关于硅(MEMS)麦克风-MEMS麦克风已在手机中得到广泛应用,并且市场份额正在迅速扩大。与传统电容式麦克风相比,其优势和技术趋势
机译:“MEMS技术改变了麦克风”硅(MEMS)麦克风--MEMS效益和相比,广泛采用的市场份额技术趋势手机迅速扩大常规电容式麦克风,麦克风
机译:MEMS麦克风灵敏度和相位分布的表征在阵列处理中的应用
机译:开发拉入式游离静电MEMS麦克风
机译:使用MEMS麦克风阵列在自主应急制动系统中使用MEMS麦克风阵列的可行性
机译:MEMS麦克风的设计方法,提高性能
机译:具有实心和穿孔翅膀的mEms定向麦克风的表征
机译:具有多灵敏度输出的微机电系统(MEMS)麦克风设备以及具有该MEMS设备的电路
机译:制造MEMS电容麦克风的方法,MEMS电容麦克风,一叠包含该MEMS电容麦克风的箔,包含该MEMS电容麦克风的电子设备和电子的使用
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