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在先进移动设备上应用MEMS传感器

         

摘要

MEMS传感器包括加速度计、陀螺仪、磁力计、压力传感器和麦克风,因其具有低成本、小尺寸、低功耗、高性能等特性,近几年来被大量集成到便携设备中。

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