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调整光学方法用于纳米级测量

         

摘要

在纳米尺度范围内,一些我们熟悉的材料特性会改变。因此随着向纳米领域探索的深入,不仅要表征新材料,而且越来越需要对熟知的材料进行研究。

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    《集成电路应用》 |2008年第1期|55|共1页
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