DFM接纳制程可变性

Laura Peters

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DFM接纳制程可变性

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EDA供应商已经开始通过提供各种针对化学机械抛光（CMP）和光刻制程的产品来解决制程可变性问题。一项专门针对晶体管参数可变性的新技术已被开发出来．它使用TCAD来了解那些最终可能会影响器件性能和成品率的基本物理现象。目前．Synopsys正在向业界推出一种名为“具备制程知识的可制造性设计（PA—DFM）”的解决方案．用于在定制／模拟设计阶段分析可变性对45nm器件的影响。

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来源
《集成电路应用》 |2007年第1期|29|共1页
作者
Laura Peters;
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正文语种 chi
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