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一种应用于半导体制造业的支持向量机SVM检测方法

         

摘要

提出一种支持向量机SVM的检测方法,用于半导体制造过程中特征参数检测.首先对SVM模型进行分析,结果显示2D SVM和模糊SVM模型效果最佳.然后提出一种将2D SVM和模糊SVM这两种模型结合的方法,证明了这种方法更有利于半导体晶圆厂检测产品的各种特征参数.

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