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用于铜互连技术的前瞻性生产系统--Atotech(安美特)公司的Everplate生产系统

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安美特(Atotech)是全球领先的电镀化学品、设备及工艺供应商。为GMF(装饰性及功能性电镀)、PCB(印刷电路板)及Semiconductor(半导体)行业提供性能卓越的产品。本文将介绍安美特专门针对集成电路制造行业中先进的铜互连工艺而研发的Everplate电镀系统。

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来源
《集成电路应用》 |2004年第9期|40-41|共2页
作者
刘乃东; 王中文;
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