氮化硅脊波导在弯曲条件下折射率变化特性

朱玉麟; 孙德贵; 徐亚萌

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本文采用有限–差分方法模拟了绝缘体上氮化硅(Si3N4)脊型弯曲波导的折射率特性。基于弯曲波导的麦克斯韦方程,本文对弯曲波导芯层内折射率随波导半径与结构的变化进行了分析。进而,利用有限–差分算法的软件MODE Solutions的仿真结果表明,在脊型波导结构下,弯曲的波导结构随着弯曲半径的增加导致传输光中心发生偏移,造成TE/TM模式的有效折射率发生变化。该研究对于各波导器件中脊型波导弯曲设计评估具有重要意义。

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来源
《应用物理》 |2022年第2期|68-74|共7页
作者
朱玉麟; 孙德贵; 徐亚萌;
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作者单位

长春理工大学长春;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类光电子技术、激光技术;
关键词
氮化硅; 脊波导; 弯曲波导; 有效折射率;

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