含氦Ti膜的透射电镜研究

于洪波; 刘实; 胡魁义; 王隆保; 戎利建

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含氦Ti膜的透射电镜研究

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在氦气和氩气混合气氛中用磁控溅射法制备含氦Ti膜.应用透射电镜观察不同氦气和氩气流量比对Ti膜微观结构及氦泡形貌和分布的影响,并研究退火温度对氦泡聚集和长大行为的影响.研究观测到,Ti膜中氦泡的尺寸随氦流量的增加而增大,氦泡的密度随氦流量改变出现一最大值;温度低于0.5 Tm时,He泡以泡迁移和合并机制(MC)长大;温度高于0.5 Tm时,He从小泡离解,被大泡吸收,以OR机制长大,氦泡尺寸明显增加.

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来源
《原子能科学技术》|2005年第6期|530-534|共5页
作者
于洪波; 刘实; 胡魁义; 王隆保; 戎利建;
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作者单位

中国科学院,金属研究所,特殊环境材料研究部,辽宁,沈阳,110016;

中国科学院,金属研究所,特殊环境材料研究部,辽宁,沈阳,110016;

中国科学院,金属研究所,材料科学国家(联合)实验室,辽宁,沈阳,110016;

中国科学院,金属研究所,特殊环境材料研究部,辽宁,沈阳,110016;

中国科学院,金属研究所,特殊环境材料研究部,辽宁,沈阳,110016;

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正文语种 chi
中图分类氦He;
关键词
磁控溅射; 氦泡; Ti膜;

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