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基于FPGA的高速多通道AD采样系统的设计与实现

         

摘要

光刻机控制系统是高精度伺服控制系统,其控制精度受环境因素(温度、湿度等因素)影响很大.为了实现对光刻机的高精度伺服控制,必须实时反馈周围环境的变化.状态机具有速度快、可靠性高、稳定性好的特点.本课题采用AD7606采样芯片,利用FPGA的可编程逻辑控制的特点,采用状态机思想,通过编程设计AD的读控制时序和读写时序,将采样结果实时保存在双口RAM里,实现高精度多通道AD采样系统.通过实验表明,设计的采样系统其速度、可靠性、采样精度达到要求.

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