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硅流量传感器的发展

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概述了近年发展起来的、利用热传导原理的固态硅流星传感器。这类传感器具有灵敏度高、响应快、易于智能化、批量化和造价低等特点。适用于小流量测量。

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来源
《自动化与仪表》 |1991年第3期|4-9|共6页
作者
白韶红;
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作者单位

无;

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原文格式 PDF
正文语种 CHI
中图分类流量测量仪表;
关键词
硅; 流量; 传感器; 发展; 流量传感器;

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