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外延用三氯氢硅精馏生产过程中各参数之间关系的研究

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摘要

根据硅外延的要求，以提纯粗三氯氢硅来制造外延用电子级三氯氢硅。精馏是比较有效的杂质分离过程，但是不同的物质其精馏过程中各项参数是不同的，本文着重研究了外延用电子级三氯氢硅的精馏过程中回流比、温度和压力等参数情况。

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来源
《化工管理》 |2013年第8期|214-214,216|共2页
作者
刘阅; 吴霄; 张笛; 艾超;
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作者单位

中锗科技有限公司江苏南京 211200;

中锗科技有限公司江苏南京 211200;

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中锗科技有限公司江苏南京 211200;

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正文语种 chi
中图分类
关键词
硅外延; 三氯氢硅; 回流比; 温度; 压力;

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