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溶胶-凝胶法制备氧化铝光学薄膜

         

摘要

氧化铝薄膜性能优异,具有较高的介电常数、高热导率、抗辐照能力强、抗碱离子渗透能力强以及在很宽的波长范围内透明等性能。因此,氧化铝薄膜广泛地应用于微电子器件、电致发光器件、光波导器件以及抗腐蚀涂层等众多领域。特别是氧化铝光学薄膜具有高的抗激光损伤阈值,用于制备增透膜、高反射薄膜等光学膜层,在惯性约束聚变的高功率固体激光器中具有广阔的应用前景。制备薄膜的方法有物理气相沉积法、化学气相沉积法和溶胶.凝胶法。与前两种方法相比,溶胶-凝胶法具有设备简单、操作方便、膜层质量高等特点,因此受到人们的广泛关注。

著录项

  • 来源
    《化学研究与应用》 |2008年第7期|887-889|共3页
  • 作者

    晏良宏; 蒋晓东; 江波;

  • 作者单位

    中国工程物理研究院,激光聚变研究中心,四川,绵阳,621900;

    四川大学化学学院,四川,成都,614004;

    中国工程物理研究院,激光聚变研究中心,四川,绵阳,621900;

    四川大学化学学院,四川,成都,614004;

  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 chi
  • 中图分类 O623.421;
  • 关键词

    氧化铝; 光学薄膜; 溶胶-凝胶;

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