迈向集成电路强国——记2017年度国家技术发明奖二等奖项目“22-14纳米集成电路器件工艺先导技术”

机译：迈向电力的第68世纪<“数字屏障和集成电路”-集成电路集成电路的诞生->

机译：使用集成电路兼容工艺的单壁碳纳米管薄膜的生长及其作为n型场效应晶体管器件的图案化

机译：MOS集成电路的制造工艺和器件设计支持技术的开发

机译：实用的集成工艺/器件/电路仿真技术，用于集成电路技术开发

机译：纳米级MOSFET，碳纳米管器件和集成电路的热和性能建模。

机译：化学集成电路：互补金属氧化物半导体集成电路上的化学系统

机译：50纳米以下超大规模集成电路的高性能CMOS器件技术研究

机译：用于VLsI（超大规模集成）器件的集成电路制造工艺的计算机辅助设计（半导体集成电路的计算机辅助工程）

机译：一种集成电路器件结构进行纳米探测的方法（集成电路器件结构的纳米探测）

机译：具有局部互连图案的半导体集成电路器件的制造工艺以及根据这种制造工艺制造的半导体集成电路器件

机译：集成电路器件上的漏极形成工艺以及通过该工艺制造的集成电路器件