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彩色滤光片黄光制程常见工艺异常的处理

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摘要

文章主要基于涂布、曝光和显影三大设备,从产线特性值管控、RGB色度的影响因素及调整、产线良率的分析改善三方面,探讨了彩色滤光片黄光制程常见工艺异常的处理.

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来源
《中国高新科技》|2017年第7期|74-76|共3页
作者
彭建中; 李亚明;
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作者单位

南京中电熊猫液晶材料科技有限公司;

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正文语种 chi
中图分类
关键词
彩色滤光片; 特性值管控; 线宽调整; 色度调整; 良率改善;

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