FSI国际获得重要半导体制造商订单

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FSI国际日前宣布一家重要半导体制造商订购了该公司的新ORION单晶圆清洗平台，这项订单表明了该客户对今年5月FSI发运的、用于后段（BEOL）32nm开发项目的评估机台的认可。该系统特有的闭室设计可解决多个关键步骤清洗问题，其中包括控制铜导线中的材料损失和电偶腐蚀（带有和不带金属包覆层），这确保了IC制造商去实现无缺陷下一代铜导线架构。

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来源
《中国集成电路》 |2009年第2期|7-7|共1页
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正文语种 chi
中图分类各种微型计算机;液体管道;
关键词
半导体制造商; FSI; 订单; 国际; ORION; 电偶腐蚀; 铜导线; 单晶圆;

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