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摘要

微波等离体源【专利】/瓦里安公司//CN1618260A。一种用于光谱仪的等离子体源包括等离子体焰炬,它被放置在波导管或谐振腔内,微波电磁场的电场分量和磁场分量两者由于激发等离子体。这产生了等离子体,它通常具有椭圆剖面,样品被相对方便地注入其中但它仍旧提供等离子体与样品之间的良好热耦合。

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