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一种微动系统设计和展望

         

摘要

在知识爆炸的今天,随着科学技术的迅猛发展,人们在物质探索方面已经达到了很高的水平。人们在不断探索宏观世界的同时,也在不断的探索微观世界,所以,微型系统和微动系统越来越重要,要求也越来越高。精密微动系统在半导体光刻、微型机

著录项

  • 来源
    《中国市场》 |2006年第14期||共1页
  • 作者

    闫庆武;

  • 作者单位

    浙江理工大学;

  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 CHI
  • 中图分类 结构;
  • 关键词

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