燃煤超细颗粒物的扫描电镜图像优化方法

徐国荣; 黄琳; 丁宏刚; 周子健; 陈文

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燃煤超细颗粒物的扫描电镜图像优化方法

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燃煤超细颗粒物属于不导电粉体材料,拍摄过程中会产生不同程度的荷电现象,影响样品的形貌表征以及图像质量。为获得高质量的燃煤超细颗粒物的SEM图像,借助蔡司Sigma300场发射扫描电子显微镜,探讨探测器、加速电压、工作距离、光阑大小等对场发射扫描电子显微镜图像的影响。研究分析表明,InLens探测器适用于高倍成像及观察样品表面细节,但是不足之处是拍摄的图像立体感较差,容易受荷电效应影响;SE2探测器对样品表面形貌非常敏感,景深大,立体感强,特别适用于粗糙颗粒的观察研究;当燃煤超细颗粒物样品放电严重或者需要大景深、强立体感时可选用SE2探测器,工作距离WD=5 mm,电压3 kV左右,光阑30μm的参数条件下进行拍摄;当需要高倍成像及观察样品表面细节时可选用InLens探测器,工作距离WD=3.2 mm,电压2 kV,光阑30μm的参数条件下进行拍摄。

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来源
《中国测试》 |2022年第2期|113-117|共6页
作者
徐国荣; 黄琳; 丁宏刚; 周子健; 陈文;
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作者单位

华中科技大学煤燃烧国家重点实验室;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类计量学;
关键词
场发射扫描电子显微镜; 燃煤超细颗粒物; 探测器; 工作电压; 工作距离; 光阑;

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